自动化元件、部件
| 宽量程MEMS风速风向传感器设计与制造关键技术及应用 | |
| 完成人： | 黄庆安；秦明；陈蓓；易真翔；董自强；李伟华； |
| 第一完成单位： | 东南大学 |
| 关键词： | 宽量程；设计；微机电系统；风速风向传感器；制造； |
| 研究起止时间： | 2001.01 至2015.12 |
| 课题来源： | 国家科技计划 |
| 合作形式： | 独立研究 |
| 所处阶段： | 成熟应用阶段 |
| 成果水平： | 国际领先 |
| 成果属性： | 原始性创新 |
| 成果体现形式： | 新产品 |
成果简介
物联网是当今世界新一轮经济和科技发展的战略制高点之一，传感器是物联网的重要组成部分。风速风向传感器作为气象监测与预警的基础性、关键性器件，在高速公路、高速铁路、智能电网、风力发电、船舶航行等领域不可或缺。随着物联网的应用，传统风速风向传感器性能、体积、功耗、成本等不能满足物联网技术发展的巨大需求，MEMS（微机电系统）传感器是公认的前沿技术方向，但国际上MEMS风速风向传感器指标尚不能达到我国...
合作完成单位
国家科技计划支持
- 高技术研究发展计划(863计划）
获奖情况
- 高校科学技术奖-技术发明奖一等奖(2018)
成果专利Top5
- 一种无风洞虚拟热风速传感器测试装置
- 一种具有片上自标定功能的MEMS热式风速传感器
- 一种测风传感器芯片结构及其制造方法
- 一种具有零点校准功能的热式风速传感器结构及校准方法
- 基于延时测量的热风速传感器结构和风速风向测定方法